ВЗАМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ Ni и Cu НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНЫЕВЫХ ДАТЧИКОВ

Авторы

  • Нормуратов Кахрамон Тогаймуратович TOSHKENT KIMYO-TEXNOLOGIYA INSTITUTI

Ключевые слова:

кремний, химическое осаждение, диффузия никеля, удельное сопротивление, термообработка, тензодатчики, дефект, метод.

Аннотация

Определены проводимость и время жизни неравновесных носителей
заряда примеси никеля в тензодатчиках из монокристаллического кремния. Установлен
оптимальный режим протекания процесса диффузии. Показано, что генерация термодоноров
подавляется взаимодействием примесей никеля и кислорода, вводимых при 500оС, и доказано
это взаимодействие не влияет на образование высокотемпературных термодоноров,
образующихся при 700°С.

Библиографические ссылки

Насриддинов С.С., Маннанов М.И., Соатов А.Қ., Ибодуллаев Ш.Н. Cu атомлари билан

легирланган кремний асосида терморезисторлар яратишнинг физик ва технологик

имкониятлари. ФарПИ илмий-техник журнали. 2022 й. Том 26 №1, 22-26 бетлар.

Nasriddinov S.S., Esbergenov D.M. Kinetics of formation of complex defects in silicon doped

with zinc and nickel. European Science Review Scientific journal № 1–2 2022 (January –

February) 40-45.

Насриддинов С.С., Маннанов М.И., Есбергенов Д.М., Турсунметова З.А.

Термоанемометрический резистор на основе кремния, легированного медью. НТЖ ФерПИ.

Т.26. В.3.

Насриддинов С.С., Есбергенов Д.М. Исследования комплексного дефектооброзования в

кремнии, легированном никелем. / Известия вузов. Физика. (SCOPUS)

Загрузки

Опубликован

2025-07-01

Выпуск

Том 2 № 5.2 (2025): РЕСПУБЛИКАНСКАЯ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ НА ТЕМУ «ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА И ЭФФЕКТИВНОСТИ ПОДГОТОВКИ БУДУЩИХ ИНЖЕНЕРОВ-ТЕХНОЛОГОВ: ПРОБЛЕМЫ, АНАЛИЗ И РЕШЕНИЯ» СБОРНИК МАТЕРИАЛОВ 30 мая 2025 г.

Раздел

Статьи

Лицензия

Copyright (c) 2025 Нормуратов Кахрамон Тогаймуратович

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Как цитировать

ВЗАМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ Ni и Cu НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КРЕМНЫЕВЫХ ДАТЧИКОВ . (2025). Универсал международный научный журнал, 2(5.2), 32-34. https://universaljurnal.uz/index.php/jurnal/article/view/3018